[发明专利]一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法

摘要

本发明公开了一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，由于在透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层，以掩膜层作为遮挡体对透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理，清除掩膜层的纳米图形后得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。这样，可以通过改变掩膜层的纳米图形来灵活调整透明导电氧化物薄膜的绒面结构，在实际操作过程中，相对于湿法刻蚀，其可控性和可重复性增强；并且，以掩膜层作为遮挡体对透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理，可以使制得的绒面结构较为规整，从而在不影响太阳能电池效率的前提下，可以达到增强太阳能电池的减反效应或陷光效应的效果。

主权项

一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，其特征在于，包括：在样品上形成透明导电氧化物薄膜；在所述透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层；以所述具有纳米图形的掩膜层作为遮挡体，对所述透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理；清除经过第二刻蚀处理后的透明导电氧化物薄膜上的掩膜层的纳米图形，得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。