[发明专利]高频体声波延迟线换能器制备方法及高频体声波延迟线有效
| 申请号： | 201410205053.7 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103985949A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 江洪敏;陈运祥;马晋毅;石越;杜波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P9/00 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高频体声波延迟线换能器制备方法及高频体声波延迟线，换能器制备时，先在传声介质两端面分别沉积底电极薄膜，用上电极光刻板进行底电极薄膜的光刻，形成底电极图形；再在两端底电极上沉积压电层薄膜；最后在两端压电层薄膜上沉积上电极薄膜，用底电极光刻板进行上电极薄膜的光刻，形成上电极图形。本发明无需光刻氮化铝压电薄膜，简化了制备工艺，避免了底电极薄膜图形在刻蚀氮化铝时遭破坏，避免了氮化铝腐蚀表面残留物对后续工艺质量的影响。本发明可以优化高频体声波延迟线制备工艺，简化高频体声波延迟线换能器制备工艺，并提高器件工艺制备成品率和产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 声波 延迟线 换能器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高频体声波延迟线换能器制备方法，其特征在于：步骤如下，1）清洗传声介质；2）在传声介质两个端面分别沉积底电极薄膜，用上电极光刻板进行底电极薄膜的光刻，形成底电极图形；3）在两端底电极上沉积压电层薄膜，压电层薄膜材料为氮化铝；4）在两端压电层薄膜上沉积上电极薄膜，用底电极光刻板进行上电极薄膜的光刻，形成上电极图形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所，未经中国电子科技集团公司第二十六研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410205053.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：呈金字塔型的网络遥控器
- 下一篇：一种多功能气管插管导芯
