[发明专利]一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410199630.6 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103952766A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 卢霏;马钰洁;马长东 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B31/22 | 分类号： | C30B31/22;C30B33/02;C30B29/10;C30B29/64 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 崔苗苗 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，将磷酸钛氧钾晶体分别放入乙醇和丙酮中超声清洗处理；将低能量的轻离子-H离子或He离子在常温下注入到磷酸钛氧钾材料中，注入离子能量范围是100keV～300keV，注入离子剂量范围1×1016离子/平方厘米～10×1016离子/平方厘米；将注入轻离子后的材料通过树脂胶绑定在衬底上，或将注入轻离子后的材料直接键合在衬底上，注入面粘在衬底上；对上述样品进行退火处理。该方法可以获得晶格结构较好的单晶材料；并且这种方法对于衬底材料的要求不高，很容易实现绑定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 离子 注入 制备 磷酸 钛氧钾 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，包括步骤如下：(1)将磷酸钛氧钾晶体分别放入乙醇和丙酮中超声清洗处理后，用氮气吹干；(2)将低能量的轻离子‑H离子或He离子，在常温下注入到磷酸钛氧钾材料中，注入离子能量范围是100keV～300keV，注入离子剂量范围1×1016离子/平方厘米～10×1016离子/平方厘米；注入离子束流密度是3～4μA/cm2；(3)将注入轻离子后的材料通过树脂胶绑定在衬底上，或将注入轻离子后的材料直接键合在衬底上，注入面粘在衬底上；(4)对上述样品在空气中进行退火处理，退火温度由室温逐步升高，退火的高温范围为200～600℃，退火总时间2～6小时。
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