[发明专利]一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410199630.6 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN103952766A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 卢霏;马钰洁;马长东 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B31/22 | 分类号： | C30B31/22;C30B33/02;C30B29/10;C30B29/64 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 崔苗苗 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 离子 注入 制备 磷酸 钛氧钾 薄膜 方法 | ||
1.一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，包括步骤如下：
(1)将磷酸钛氧钾晶体分别放入乙醇和丙酮中超声清洗处理后，用氮气吹干；
(2)将低能量的轻离子-H离子或He离子，在常温下注入到磷酸钛氧钾材料中，注入离子能量范围是100keV～300keV，注入离子剂量范围1×1016离子/平方厘米～10×1016离子/平方厘米；注入离子束流密度是3～4μA/cm2；
(3)将注入轻离子后的材料通过树脂胶绑定在衬底上，或将注入轻离子后的材料直接键合在衬底上，注入面粘在衬底上；
(4)对上述样品在空气中进行退火处理，退火温度由室温逐步升高，退火的高温范围为200～600℃，退火总时间2～6小时。
2.根据权利要求1所述的一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，步骤(2)所述的轻离子注入面是抛光面，且注入面分有两种切向，X切向和Z切向。
3.根据权利要求1所述的一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，步骤(2)所述的轻离子为H离子注入到X切向。
4.根据权利要求1所述的一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，注入离子能量范围选100keV～200keV，注入离子剂量范围5×1016离子/平方厘米～8×1016离子/平方厘米。
5.根据权利要求1所述的一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，步骤(3)中提到树脂胶的组成为：环氧树脂和硬化剂按照质量比10:1混合在一起。
6.根据权利要求1所述的一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，其特征是，退火是从室温升到200℃，退火时间是4个小时。
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