[发明专利]一种薄膜应变计及其制备方法

摘要

本发明提供了一种薄膜应变计及其制备方法，包括合金基板的表面处理，在合金基板上沉积NiCrAlY过渡层，Al₂O₃联接层的制备，设置Al₂O₃陶瓷绝缘层，设置薄膜应变计功能层和热氧化Al₂O₃保护层，最后设置Al₂O₃陶瓷保护层。本发明采用NiCrAlY合金为功能层，由于NiCrAlY合金薄膜表面经过析铝、氧化形成的Al₂O₃保护层更致密、稳定，对应变计功能层有更好的防护作用；而且功能层和过渡层均采用相同的NiCrAlY合金材料和处理工艺，具有相同的热膨胀系数，不会产生温度应力，在高温工作环境下不容易脱落，延长了薄膜应变计的使用寿命。

主权项

一种薄膜应变计，包括七层结构，从下往上依次是合金基板(1)、NiCrAlY过渡层(2)、Al₂O₃联接层(3)、Al₂O₃陶瓷绝缘层(4)、Al₂O₃陶瓷保护层(5)、薄膜应变计功能层(6)和热氧化Al₂O₃保护层(7)，其中，薄膜应变计功能层(6)为NiCrAlY合金层，热氧化Al₂O₃保护层(7)覆盖于薄膜应变计功能层(6)表面，Al₂O₃陶瓷保护层(5)覆盖于薄膜应变计功能层(6)上的热氧化Al₂O₃保护层(7)和Al₂O₃陶瓷绝缘层(4)表面。