[发明专利]检查装置

摘要

本发明的检查装置，包括：第一装载单元，用于装载基板；移动单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至初始位置；往复单元，沿上述基板的移送路径移送上述初始位置的上述基板；对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；及第二装载单元，用于装载经上述检查单元检查的上述基板。本发明的检查装置可自动完成对基板的通电检查。

主权项

1.一种检查装置，其移送基板，对齐移送的基板并检查上述基板的通电状态，上述检查装置的特征在于：包括：往复单元，沿上述基板的移送路径移送初始位置的上述基板；对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；及检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；其中，上述往复单元将经上述检查单元检查的上述基板移送至上述初始位置；当将从上述初始位置到上述检查单元的上述基板的移送路径定义为第一路径并将从上述检查单元到上述初始位置上述基板的移送路径定义为第二路径时，上述往复单元包括利用上述第一路径和上述第二路径中相互不同的路径移送上述基板的第一往复单元及第二往复单元；上述第一往复单元的第一路径和上述第二往复单元的第一路径相同；上述第一往复单元的第二路径和上述第二往复单元的第二路径能够以第一路径为中心形成。