[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其移送基板，对齐移送的基板并检查上述基板的通电状态，上述检查装置的特征在于：

包括：往复单元，沿上述基板的移送路径移送初始位置的上述基板；

对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；及

检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；

其中，上述往复单元将经上述检查单元检查的上述基板移送至上述初始位置；

当将从上述初始位置到上述检查单元的上述基板的移送路径定义为第一路径并将从上述检查单元到上述初始位置上述基板的移送路径定义为第二路径时，

上述往复单元包括利用上述第一路径和上述第二路径中相互不同的路径移送上述基板的第一往复单元及第二往复单元；

上述第一往复单元的第一路径和上述第二往复单元的第一路径相同；

上述第一往复单元的第二路径和上述第二往复单元的第二路径能够以第一路径为中心形成。

2.一种检查装置，其移送基板，对齐移送的基板并检查上述基板的通电状态，上述检查装置的特征在于：

包括：往复单元，沿上述基板的移送路径移送初始位置的上述基板；

对齐单元，位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态；及

检查单元，位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态；

其中，上述往复单元将经上述检查单元检查的上述基板移送至上述初始位置；

当将从上述初始位置到上述检查单元的上述基板的移送路径定义为第一路径并将从上述检查单元到上述初始位置上述基板的移送路径定义为第二路径时，

上述第一路径的长度短于上述第二路径的长度。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

包括：第一装载单元，用于装载上述基板；

移动单元，将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至上述初始位置；

第二装载单元，用于装载经上述检查单元检查的上述基板；

其中，在xyz空间中，上述第一装载单元及上述第二装载单元在驱动时具有z轴作业自由度；

在xyz空间中，上述移动单元在驱动时具有x轴、y轴、z轴作业自由度；

在xyz空间中，上述往复单元在驱动时具有x轴、y轴作业自由度；

在xyz空间中，上述对齐单元在驱动时被固定；

在xyz空间中，上述检查单元在驱动时具有z轴自由度。

4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

在xyz空间，上述检查单元的初始设置时的自由度数量和检查单元的驱动时的自由度数量不同。

5.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

在xyz空间，上述检查单元的初始设置时的自由度集合包括上述检查单元的驱动时的自由度集合。

6.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

上述检查单元包括利用与基板的一面接触的第一检查部和与上述基板的另一面接触的第二检查部；

初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部的自由度数量和上述第二检查部的自由度数量不同。

7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

上述检查单元包括利用与基板的一面接触的第一检查部和与上述基板的另一面接触的第二检查部；

其中，在初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部具有z轴自由度、r_z自由度，而上述第二检查部具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及r_z自由度，

r_z为以z轴为旋转轴的旋转自由度。

8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

上述检查单元包括利用以重力方向为准接触于上述基板的上面的第一检查部及接触于上述基板的下面的第二检查部；

初始设置时，在xyz空间，上述第一检查部的自由度数量少于上述第二检查部的自由度数量。

9.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

xy平面中，检查从(x₁，y₁)坐标向x轴方向移送的上述基板的通电状态，并将经检查的上述基板装载于(x₁，y_a)坐标，在此，a为非1的自然数。