[发明专利]可持续供应MO源的装置

摘要

本发明公开了一种可持续供应MO源的装置，所述包括有MO源气体储罐、出气管、高纯载气管，所述MO源气体储罐上连接有出气管，所述出气管与高纯载气管的末端相连通后连接在MOCVD设备上，所述MO源气体储罐设置在加热包里，所述MO源气体储罐上设置有压力温度探头；将MO源与高纯载气混合到需要的配比浓度，然后加压存储在高压容器中，高压容器放置在较高温度，这样MO源全部气化并且不会分解温度，最后通过管道直接将混合气输送到MOCVD设备，通过质量流量控制器控制使用量，当压力温度探头检测到压力下降到报警点时，会自动切换到备用MO源气体存储罐进行工作，解决了MO源持续供应麻烦的问题。

主权项

一种可持续供应MO源的装置，其特征在于：包括有MO源气体储罐（1）、出气管（2）、高纯载气管（3），所述MO源气体储罐（1）上连接有出气管（2），所述出气管（2）与高纯载气管（3）的末端相连通后连接在MOCVD设备上，所述MO源气体储罐（1）设置在加热包（4）里，所述MO源气体储罐（1）上设置有压力温度探头（5），所述MO源气体储罐（1）的右侧设置有备用MO源气体储罐，防止MO源气体储罐中MO源不够无法工作。