[发明专利]可持续供应MO源的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种充装装置，尤其一种可持续供应MO源的装置。

技术领域

MO源即高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个国家电子信息技术发展水平的重要标志。在我国MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。MO源在MOCVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温（±0.1℃），恒压（±1torr），稳定气体流量（±1sccm），MO源存储在钢瓶（一般称为鼓泡器）中，惰性气体例如氢气或氮气，通过深入钢瓶内部的管道进入鼓泡器中，经过MO源时产生鼓泡效应，MO源在鼓泡过程中大量蒸发，形成MO源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。

现有供应MO源的技术存在以下缺点：1.MO源的可燃性，遇到空气会自燃，在鼓泡器拆装是要充分对管道系统进行置换，对管道接头进行氦质谱简陋，操作过程繁琐，时间长，很容易因为操作不当而引起火灾；2.更好新的鼓泡器后，鼓泡器和恒温水浴槽需要进行热交换来达到恒定温度，所需热交换的进行时间较长；3. 鼓泡器中MO源没有计量和监控设备，无法准确判断残余量。因此，解决MO源持续供应麻烦、二次供应所需时间较长、无法准确判断残余量、易引发火灾的问题尤为重要。

发明内容

本发明提供了一种可持续供应MO源的装置，通过设置有加热包和MO源气体储罐来代替鼓泡器和恒温浴水槽，将MO源于高纯载气混合到需要的配比浓度，通过管道直接将混合气输送到MOCVD设备，以解决解决MO源供应麻烦、二次供应所需时间较长、无法准确判断残余量、易引发火灾的问题。

为了解决上述问题，本发明提供一种可持续供应MO源的装置，所述包括有MO源气体储罐、出气管、高纯载气管，所述MO源气体储罐上连接有出气管，所述出气管与高纯载气管的末端相连通后连接在MOCVD设备上，所述MO源气体储罐设置在加热包里，所述MO源气体储罐上设置有压力温度探头。

进一步改进在于：所述MO源气体储罐的右侧设置有备用MO源气体储罐，防止MO源气体储罐中MO源不够无法工作。

进一步改进在于：所述出气管和高纯载气管的末端上设置有质量流量控制器，控制混合气体输送到MOCVD设备中的使用量。

进一步改进在于：所述出气管上设置有减压阀。

本发明的有益效果是：1. MO源浓度根据客户要求直接配比，使用时不存在浓度变化问题。

2. 对于一些固体MO源，也同样适用本方法。

3. MOCVD设备节省了压力控制器、恒温水浴槽及鼓泡器，设备成本下降，设备内部空间增加。

4. 通过直接更换储存气瓶，完全能够达到稳定供应目的。

5. 通过对储罐的压力进行监控能够有效监测MO源状态。

附图说明

图1是本发明的示意图。

其中：1-MO源气体储罐，2-出气管，3-高纯载气管，4-加热包，5-压力温度探头，6-质量流量控制器，7-减压阀，8-高压容器。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

如图1所示，本实施例提供了一种可持续供应MO源的装置，所述包括有MO源气体储罐1、出气管2、高纯载气管3，所述MO源气体储罐1上连接有出气管2，所述出气管2与高纯载气管3的末端相连通后连接在MOCVD设备上，所述MO源气体储罐1设置在加热包4里，所述MO源气体储罐1上设置有压力温度探头5。所述MO源气体储罐1的右侧设置有备用MO源气体储罐，防止MO源气体储罐中MO源不够无法工作。所述出气管2和高纯载气管3的末端上设置有质量流量控制器6，控制混合气体输送到MOCVD设备中的使用量。所述出气管2上设置有减压阀7，用来控制出气管2中的压力。

将MO源与高纯载气混合到需要的配比浓度，然后加压存储在高压容器8中，高压容器8放置在在较高温度，这样MO源全部气化并且不会分解温度，最后通过管道直接将混合气输送到MOCVD设备，通过质量流量控制器6控制使用量。加热包4用来控制温度和加热，出气管2和高纯载气管3具有保温的作用。当压力温度探头5检测到压力下降到报警点时，会自动切换到备用MO源气体存储罐进行工作。所述MO源气体储罐1可同时对三组MOCVD设备进行输气。