[发明专利]一种芯片精密操作装置

摘要

本发明提供一种芯片精密操作装置，包括壳体，所述壳体上设置有固定支架，所述壳体内设置有传动装置，所述传动装置与壳体以及固定支架之间形成密闭空间，所述密闭空间内设置有传动介质用以驱动传动装置沿Z轴方向作直线运动，所述传动装置上端连接有扭矩输出装置以驱动该传动装置沿Z轴转动，所述传动装置下端设置有芯片吸取装置用以吸取芯片。本发明利用恒压控制技术，通过设定恒压控制系统的输出压力大小，无须压力传感器反馈即可获得所需的精确且恒定的操作力；双直线运动单元的结构，能在不影响芯片压力情况下，通过伺服电机和联轴器自动调节芯片的旋转角度；采用间隙密封技术，避免了真空管弯曲对芯片操作力的影响。

主权项

一种芯片精密操作装置，包括壳体，其特征在于，所述壳体上设置有固定支架，所述壳体内设置有传动装置，所述传动装置与壳体以及固定支架之间形成密闭空间，所述密闭空间内设置有传动介质用以驱动传动装置沿Z轴方向作直线运动，所述传动装置上端连接有扭矩输出装置以驱动该传动装置沿Z轴转动，所述传动装置下端设置有芯片吸取装置用以吸取芯片；所述固定支架包括电机支架，所述电机支架上设置有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上设置有联轴器，所述传动装置包括活塞，所述联轴器下端设置有直线运动单元，所述活塞上端连接于该直线运动单元上并沿该直线运动单元作Z轴方向运动。