[发明专利]存储器元件及其形成方法在审
申请号: | 201410147691.8 | 申请日: | 2014-04-14 |
公开(公告)号: | CN104979469A | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
发明(设计)人: | 许博砚;廖修汉;张硕哲;何家骅 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C13/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 贾磊 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种存储器元件及其形成方法,该存储器元件包括一第一电极;一第二电极;以及一电阻层,位于该第一电极与该第二电极之间,其中该电阻层具有一结晶部分,该结晶部分的体积占该电阻层的体积的约0.2至约1之间。存储器元件的形成方法包括:于一第一电极上形成一电阻层,其中该电阻层具有一结晶部分,该结晶部分的体积占该电阻层的体积的约0.2至约1之间;以及于该电阻层上形成一第二电极。通过本发明提供存储器元件及形成方法,可以有效提升电阻式非易失性存储器的良率和效能。 | ||
搜索关键词: | 存储器 元件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种存储器元件,其特征在于,包括:一第一电极;一第二电极;以及一电阻层,位于该第一电极与该第二电极之间,其中该电阻层具有一结晶部分,该结晶部分的体积占该电阻层的体积的0.2至1之间。
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