[发明专利]一种用于掩模传输的机械手有效
| 申请号： | 201410138283.6 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104972451B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 孙鹤源;王长刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J5/04 | 分类号： | B25J5/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于掩模传输的机械手，其特征在于，包括驱动单元，所述驱动单元包括沿X方向作单自由度的直线运动的X向运动模块以及Z向作单自由度的直线运动的Z向运动模块；夹持机械手模块，用于移动所述掩模，所述夹持机械手模块与所述Z向运动模块耦接；以及防碰撞模块，用于消除碰撞发生时对所述机械手的冲击力，所述防碰撞模块与所述夹持机械手模块耦接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 传输 机械手 | ||
【主权项】：
一种用于掩模传输的机械手，其特征在于，包括：驱动单元，所述驱动单元包括沿X方向作单自由度的直线运动的X向运动模块以及Z向作单自由度的直线运动的Z向运动模块；夹持机械手模块，用于移动所述掩模，所述夹持机械手模块与所述Z向运动模块耦接；以及防碰撞模块，用于消除碰撞发生时对所述机械手的冲击力，所述防碰撞模块与所述夹持机械手模块耦接；所述夹持机械手模块包括夹持机械手版叉，所述防碰撞模块包括防碰撞传感器、调平顶丝、压紧件、压紧顶丝、防碰撞传感器挡片以及Z轴连接件，所述夹持机械手版叉通过所述调平顶丝固定在所述Z轴连接件上，所述压紧件穿过所述夹持机械手版叉连接所述Z轴连接件，并通过所述压紧顶丝连接所述夹持机械手版叉，所述防碰撞传感器固定在所述Z轴连接件上，所述防碰撞传感器挡片设置在所述防碰撞传感器上方，并与所述夹持机械手版叉连接。
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