[发明专利]曝光光罩以及彩色滤光片的制作方法

摘要

本发明公开了一种曝光光罩，用于彩色滤光片的制作工艺，所述曝光光罩包括复数个曝光区域以及隔离所述复数个曝光区域的遮光区域，其中，所述曝光区域的边缘设置有复数个相互间隔的第一遮光图案。本发明还公开了一种彩色滤光片的制作方法，包括步骤：（a）提供一具有薄膜晶体管阵列的下玻璃基板；（b）在薄膜晶体管阵列上制备第一绝缘保护层；（c）应用光刻工艺在所述第一绝缘保护层上制备获得所述彩色滤光片；其中，所述光刻工艺包括制备彩色光阻层并对彩色光阻层进行曝光显影的步骤，进行曝光时采用了如前所述的曝光光罩。

主权项

一种曝光光罩，用于彩色滤光片的制作工艺，所述曝光光罩（40）包括复数个曝光区域（402）以及隔离所述复数个曝光区域（402）的遮光区域（401），其特征在于：所述曝光区域（402）的边缘设置有复数个相互间隔的第一遮光图案（403）。