[发明专利]显示阵列基板及显示阵列基板的制造方法

摘要

本发明提供一种显示阵列基板的制造方法，该制造方法包括：于一基板上沉积第一金属层，并定义像素区域与周边区域；在周边区域的第一金属层上涂布图案化光阻层；利用图案化光阻层为屏蔽阳极化处理该第一金属层形成第一金属氧化物层；图案化该像素区域的第一金属氧化物层形成栅极绝缘层，并移除图案化光阻层曝露出该第一金属层；于栅极绝缘层上形成沟道层；及沉积第二金属层，并图案化像素区域的第二金属层形成源极与漏极。本发明还提供一种显示阵列基板。

主权项

1.一种显示阵列基板，包括用于显示图像的像素区域及周边区域，该像素区域包括多条相互平行的栅极线、多条相互平行且与该些栅极线绝缘相交的数据线；每一条栅极线的末端在该周边区域形成一栅极连接垫，每一栅极线与一数据线交叉处设置一薄膜晶体管，其中，该栅极连接垫包括栅极线末端和栅极垫电极，该栅极线末端部分覆盖有第一绝缘层，该第一绝缘层定义一过孔以使该栅极线末端与该栅极垫电极连接，其特征在于：该第一绝缘层是将该栅极线末端除过孔部分外的表面区域直接氧化形成；该栅极线末端包括本体及由该本体的一侧凸伸形成的突出部，该本体比该突出部粗，该第一绝缘层覆盖该本体具有该突出部的一侧；所述薄膜晶体管包括源极和漏极，所述栅极垫电极、所述源极和所述漏极由同一导电层形成。