[发明专利]电子部件的制造装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种电子部件的制造装置。其中，第1对准标记提供给基板，第2对准标记提供给掩膜。掩膜在基板上形成电子电路图案。控制单元基于第1和第2对准标记来进行掩膜与基板的位置对准。第2对准标记形成为包围第1对准标记。第2对准标记在其内具有台阶图案。

主权项

一种电子部件的制造装置，其特征在于：包括：基板，其具有第1对准标记；掩膜，其用于在所述基板上印刷电子电路图案，所述掩膜具有第2对准标记；以及控制单元，其基于所述第1和第2对准标记来进行所述掩膜与所述基板的位置对准，所述第1对准标记具有由镀覆法形成的十字型形状，所述第2对准标记由从4个角包围所述第1对准标记的4个部分构成，在与所述第1对准标记的所述十字型形状相对应的两个方向上分别具有三个台阶图案，所述台阶图案具有从中央向外侧依次设置的第1～第3台阶，所述第1台阶为1u，所述第2台阶为1u，所述第3台阶为2u，其中，u为单位长度，夹着所述第1对准标记的所述十字型形状的直线部分的所述第2对准标记的2个部分间的空间宽度从所述中央向所述外侧变宽，所述控制单元基于所述第2对准标记的所述台阶图案与所述第1对准标记的所述十字型形状的所述直线部分的重叠的大小，来调整所述掩膜与所述基板的相对位置。