[发明专利]一种尾气出口连接内伸管的多晶硅还原炉及连接方法有效
| 申请号： | 201410101215.2 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103880009A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘春江;耿洋;黄哲庆;袁希钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种尾气出口连接内伸管的多晶硅还原炉及连接方法；还原炉顶盘为无孔的半球型，中心尾气出口连接内伸管垂直伸入炉内，内伸管高度高于硅棒，内伸管外套接正六边形状硅块；还原炉底盘上电极为一层，按正六边形排布。正六边形状硅块内径略大于内伸管外径，以方便套入；正六边形的边长为内伸管外径的1.05-1.2倍。尾气出口连接的内伸管避免了炉内混合气走短路，增加混合气在还原炉内的停留时间，提高混合气的转化率。内伸管强制混合气经过炉体上部空间，有效避免还原炉顶部回流死区的产生；内伸管外套有的正六边形螺母状硅块同样可以起到沉积多晶硅的作用，对于多晶硅产量的提升有积极作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尾气 出口 连接 内伸管 多晶 还原 方法 | ||
【主权项】：
一种尾气出口连接内伸管的多晶硅还原炉，其特征是还原炉顶盘为无孔的半球型，中心尾气出口连接内伸管垂直伸入炉内，内伸管高度高于硅棒，内伸管外套接正六边形状硅块；还原炉底盘上电极为一层，按正六边形排布。
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