[发明专利]一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置和方法

摘要

本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。

主权项

一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，其特征在于：包括：‑将柔性的衬底平铺输送的输送机构，‑进行沉积反应的沉积箱，‑与沉积箱相接的溶液加热循环机构，‑洗刷衬底的滚筒洗刷机构，‑烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置；所述输送机构包括：‑位于衬底输送路线首端和尾端的、将衬底缠绕成卷的卷筒，‑位于衬底输送路线中的、导引衬底的输送方向的多个导辊，‑将衬底定位在沉积箱和烘干装置中的多个调整辊；所述衬底的正面为硫化镉薄膜，滚筒洗刷机构与衬底的背面相接触。