[发明专利]一种带有参考真空室的MEMS皮拉尼计在审
| 申请号： | 201410100481.3 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104931193A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 夏文;张威;苏卫国;李雷;万松 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;G01L27/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有参考真空室的MEMS皮拉尼计。其特征在于，同一衬底上的两个微型皮拉尼计，其中一支真空封装在参考室内。将两支皮拉尼计一起置于测试环境中，同时输入相同的激励信号，通过外围电路测出对应的输出信号。其中真空封装的皮拉尼计不受所测环境真空度的影响，其阻值的变化主要由环境温度引起。未封装的皮拉尼计的阻值则同时受到环境气压和环境温度的影响。将两支皮拉尼计测得的输出信号差作为真空度测量信号，即可消除环境温度造成的皮拉尼计读数误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 参考 真空 mems 皮拉尼计 | ||
【主权项】：
一种带有参考真空室的微型皮拉尼计，包括两支微型皮拉尼计，一个真空室，其特征在于，两支皮拉尼计共用同一衬底，其中一只封装在真空室内作为参考，真空室内的真空度稳定不变，两支皮拉尼计一起置于被测环境中，通过引线接入外围电路，输入同样的激励信号，两个微型皮拉尼计的输出信号差作为真空度测量信号。
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