[发明专利]一种钨铜薄片及其制备方法

摘要

本发明的提供一种钨铜薄片及其制备方法，由钨铜弥散粉轧制而成。本发明提供的钨铜薄片及其制备方法，克服了现有制备此种材料工艺的缺陷与不足，采用本发明的制备方法制取的材料显微组织均匀、致密、气密性合格，并且生产效率高，材料利用率高，成本得以显著降低。本发明制备的钨铜薄片符合微电子封装要求。

主权项

一种钨铜薄片，由钨铜弥散粉轧制而成，其制备方法包括以下步骤：(1)钢模压制成型将钨铜弥散粉用液压机钢模压制成型，得到钢模成型压坯；(2)冷等静压复压将步骤(1)得到的钢模成型压坯在冷等静压机中复压处理，得到复压坯；(3)高温烧结将步骤(2)得到的复压坯在氢气氛钼丝炉中高温烧结，得到烧结坯；(4)热轧将步骤(3)得到的烧结坯用两辊轧机热轧，然后进行退火处理，根据烧结坯厚度重复热轧和退火步骤，得到退火态热轧钨铜板材，然后对退火态热轧钨铜板材进行表面处理；(5)温轧对步骤(4)的经过表面处理的退火态热轧钨铜板材进行温轧，然后进行退火处理，得到退火态温轧钨铜板材；(6)冷轧对步骤(5)的退火态温轧钨铜板材进行冷轧处理，最终退火、压平，得到钨铜薄片，其中，步骤(4)热轧的加热温度为600‑‑1050℃，加热设备为钼丝炉，保护气氛为H2或者分解氨混合气，加热温度由钨铜比例决定，钨含量高则加热温度高，步骤(4)或步骤(5)的退火温度为800‑‑1350℃，加热设备为钼丝炉或网带炉，氢气氛或者分解氨混合气氛，退火时间30‑‑60分钟，步骤(5)的温轧加热温度为400‑‑600℃，步骤(6)的冷轧加热温度为400‑‑600℃，步骤(6)的退火温度为800‑‑1050℃，加热设备为钼丝炉或网带炉，氢气氛或者分解氨混合气氛，退火时间30‑‑60分钟。