[发明专利]一种防止质量流量控制器内部气体泄露的方法在审
| 申请号： | 201410097450.7 | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN103869837A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 田守卫;孙洪福;姜国伟;牟善勇 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，包括：质量流量控制器的进气端上设置有第一调节阀，出气端连接至一腔室，所述质量流量控制器完成每一制程后，抽空从所述腔室至所述第一调节阀的管路内的气体以及所述质量流量控制器内的气体，然后再进行下一制程，所述质量流量控制器内及管路中的气体都被抽空，不会对下一制程造成影响，并且可以提高质量流量控制器的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 质量 流量 控制器 内部 气体 泄露 方法 | ||
【主权项】：
一种防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，所述质量流量控制器的进气端上设置有第一调节阀，出气端连接至一腔室，其特征在于，所述质量流量控制器完成每一制程后，抽空从所述腔室至所述第一调节阀的管路内的气体以及所述质量流量控制器内的气体。
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