[发明专利]一种防止质量流量控制器内部气体泄露的方法在审
| 申请号： | 201410097450.7 | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN103869837A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 田守卫;孙洪福;姜国伟;牟善勇 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 质量 流量 控制器 内部 气体 泄露 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，所述质量流量控制器的进气端上设置有第一调节阀，出气端连接至一腔室，其特征在于，所述质量流量控制器完成每一制程后，抽空从所述腔室至所述第一调节阀的管路内的气体以及所述质量流量控制器内的气体。
2.如权利要求1所述的防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，其特征在于，所述质量流量控制器控制的气体为如SiH4。
3.如权利要求1所述的防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，其特征在于，所述质量流量控制器的出气端上设置有第二调节阀以及第三调节阀。
4.如权利要求3所述的防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，其特征在于，所述第二调节阀靠近所述质量流量控制器，所述第三调节阀靠近所述腔室。
5.如权利要求4所述的防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，其特征在于，抽空气体时，打开所述第二调节阀和第三调节阀，抽空气体后，关闭所述第二调节阀和第三调节阀。
6.如权利要求1所述的防止质量流量控制器内部气体泄露的方法，其特征在于，所述质量流量控制器上设置有质量流量控制器调节阀。
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