[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

一种背照式图像传感器及其形成方法，其中，图像传感器包括：衬底，衬底具有第一表面、以及与第一表面相对的第二表面，衬底内具有感光器件；至少位于感光器件上方的衬底第一表面的器件层；位于感光器件正上方的器件层表面的凸部，凸部表面为弧面、且相对于器件层表面凸起，感光器件与凸部之间的部分器件层材料为透光材料，凸部的材料为透光材料；位于凸部表面的反光层，反光层用于反射光线；位于衬底第二表面的滤色层结构、以及位于滤色层结构表面的微透镜结构，滤色层结构和微透镜结构的位置与感光器件对应，外部光线自衬底第二表面入射、并通过微透镜结构和滤色层结构进入感光器件。所述背照式图像传感器的光能损失减少、光电转换效率提高。

主权项

一种背照式图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底具有第一表面、以及与所述第一表面相对的第二表面，所述衬底内具有感光器件；至少在所述感光器件上方的衬底第一表面形成器件层；在感光器件正上方的器件层表面形成凸部，所述凸部表面为弧面、且相对于器件层表面凸起，所述感光器件与凸部之间的部分器件层材料为透光材料，所述凸部的材料为透光材料；在所述凸部表面形成反光层，所述反光层用于反射光线；在形成反光层之后，在衬底的第二表面形成滤色层结构、以及位于滤色层结构表面的微透镜结构，所述滤色层结构和微透镜结构的位置与感光器件对应，外部光线自衬底第二表面入射、并通过微透镜结构和滤色层结构进入感光器件。