[发明专利]真空泵

摘要

本发明是关于一种真空泵，即便在低速旋转区域也可以精度良好地推算旋转速度及磁极电角度。真空泵包括反相器，具有基于脉宽调制驱动指令而被接通或断开控制的多个开关元件，且通过多个开关元件的接通或断开而将生成的驱动电流供给至电动机；旋转速度／磁极位置推算部，检测包括电动机的逆电压信息的信号，而推算电动机的磁极电角度及旋转速度；测定区间信号生成部，在电动机的低速旋转区域，使通过反相器而从电源供给至电动机或从电动机向电源回充的驱动电流的生成及阻断重复进行；且所述旋转速度／磁极位置推算部在低速旋转区域检测电流供给阻断时的所述信号从而推算磁极电角度及旋转速度。

主权项

一种真空泵，其特征在于包括：电动机，旋转驱动泵转子；正弦波驱动指令生成部，生成正弦波驱动指令；脉宽调制驱动指令生成部，基于所述正弦波驱动指令生成脉宽调制驱动指令；反相器电路，具有基于所述脉宽调制驱动指令而被接通或断开控制的多个开关元件，且通过所述多个开关元件的接通或断开而将生成的驱动电流供给至所述电动机或从所述电动机回充；推算部，检测包含所述电动机的逆电压信息的信号，推算所述电动机的磁极电角度及旋转速度；以及驱动电流控制部，在所述电动机起动时的加速动作或停止时的减速动作的从停止状态至规定旋转速度为止的低速期间，重复进行通过所述反相器电路而从电源供给至所述电动机或从所述电动机向所述电源回充的驱动电流的生成及阻断；且所述推算部在所述低速期间，检测所述阻断时的所述信号，而推算所述磁极电角度及旋转速度，旋转速度小于所述规定旋转速度，预先设定为规定的正逆旋转速度范围且该正逆旋转速度范围之间包含旋转速度零，且当由所述推算部推算的旋转速度在所述正逆旋转速度范围内时，所述推算部输出一定的旋转速度值代替所推算的旋转速度，并且使用该旋转速度值生成磁极电角度。