[发明专利]一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统在审
| 申请号： | 201410068708.0 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103868810A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨是赜;王恩哥;田学增;曾敏;许智;白雪冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N3/38 | 分类号： | G01N3/38;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，包括微机械器件、表征设备(1)、接口设备(2)、测试设备(3)，接口设备(2)将微机械器件放于表征设备(1)，其特征在于：所述接口设备(2)包括电学接头(6)和光纤接头(7)，通过电学接头(6)或通过光纤接头(7)将信号施加至微机械器件，微机械器件在测试设备(3)的驱动下发生形变；另外可以将微机械器件固定于电极(14)上，微纳米结构体(17)固定于微机械器件末端，测试设备驱动微机械器件的摆动，进而控制微纳米结构体(17)与作用块(16)发生碰撞，研究微纳米结构体的动态变化过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 器件 载荷 疲劳 性能 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，包括微机械器件、表征设备(1)、接口设备(2)、测试设备(3)，接口设备(2)将微机械器件放于表征设备(1)，其特征在于：所述接口设备(2)包括电学接头(6)和光纤接头(7)，通过电学接头(6)或通过光纤接头(7)将信号施加至微机械器件，微机械器件在测试设备(3)的驱动下发生形变。
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