[发明专利]一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统在审
| 申请号： | 201410068708.0 | 申请日： | 2014-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103868810A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 杨是赜;王恩哥;田学增;曾敏;许智;白雪冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N3/38 | 分类号： | G01N3/38;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 器件 载荷 疲劳 性能 测试 系统 | ||
1.一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，包括微机械器件、表征设备(1)、接口设备(2)、测试设备(3)，接口设备(2)将微机械器件放于表征设备(1)，其特征在于：所述接口设备(2)包括电学接头(6)和光纤接头(7)，通过电学接头(6)或通过光纤接头(7)将信号施加至微机械器件，微机械器件在测试设备(3)的驱动下发生形变。
2.根据权利要求1所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述微机械器件为纳米线、纳米管、纳米带或者悬臂梁。
3.根据权利要求1或2所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述表征设备(1)为透射电子显微镜、扫描电子显微镜或者光学显微镜，用于对器件的结构进行表征，可以动态观测微机械器件或微纳米材料的结构变化。
4.根据权利要求1或2所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述接口设备(2)还包括样品座(4)和杆体(5)。
5.根据权利要求1或2所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述测试设备(3)为数字信号发生器或脉冲光学信号产生设备，用于产生驱动信号，控制微机械器件产生形变。
6.一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，包括微机械器件、测试设备、电极(14)、作用块(16)，微机械器件固定于电极(14)上，微纳米结构体(17)固定于微机械器件末端，测试设备驱动微机械器件的摆动，进而控制微纳米结构体(17)与作用块(16)发生碰撞。
7.根据权利要求6所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述微机械器件为纳米线、纳米管、纳米带或者悬臂梁。
8.根据权利要求6或7所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：所述测试设备为数字信号发生器或脉冲光学信号产生设备。
9.根据权利要求6或7所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：该电极(14)由基片或其他装置取代。
10.根据权利要求6或7所述的一种微机械器件的载荷疲劳性能测试系统，其特征在于：调节所述测试设备的驱动电压，控制微机械器件摆动的幅度，从而调节所述碰撞的强度。
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