[发明专利]一种设有安全挡板的OHT系统在审
| 申请号： | 201410060153.5 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103887216A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 秦贵明;裴雷洪;俞玮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车、搬运轨道、装载台和可开合的安全挡板。搬运车可滑动的设于搬运轨道上，搬运轨道的一端位于装载台的上方。安全挡板设于装载台的外侧，当安全挡板闭合时，安全挡板将OHT系统的工作区域与外界区域隔开，当安全挡板打开时，安全挡板将OHT系统的工作区域与外界区域连通。本发明的技术方案成本较低，简便易行，变被动防护为主动防护，解决OHT作业时的安全隐患，避免人员误入造成伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 安全 挡板 oht 系统 | ||
【主权项】：
一种设有安全挡板的OHT系统，包括搬运车、搬运轨道和装载台，所述搬运车可滑动的设于所述搬运轨道上，所述搬运轨道的一端位于所述装载台的上方，其特征在于，还包括可开合的安全挡板，所述安全挡板设于所述装载台的外侧，当所述安全挡板闭合时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域隔开，当所述安全挡板打开时，所述安全挡板将所述OHT系统的工作区域与外界区域连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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