[发明专利]光电转换结构、应用其的太阳能电池及其制造方法

摘要

一种光电转换结构、应用其的太阳能电池及其制造方法，所述光电转换结构包含基板、第一半导体结构与第二半导体结构。基板具有两相对的第一表面与第二表面。第一表面具有多个微米结构以及多个纳米结构。纳米结构分布于微米结构表面上，且纳米结构的高度为约500纳米至900纳米。第一半导体结构置于基板的第一表面上。第二半导体结构置于基板的第二表面上。因上述光电转换结构先形成纳米结构于微米结构上，因此第一表面可具有抗反射的效果。更进一步地，因在形成纳米结构后，再进一步对纳米结构进行蚀刻，因此纳米结构的表面积的粗糙度可降低，以减少载子在纳米结构的表面复合的机率。

主权项

一种光电转换结构，包含：一基板，具有两相对的第一表面与第二表面，其中该第一表面具有多个微米结构以及多个纳米结构，所述纳米结构分布于所述微米结构表面上，且所述纳米结构的高度为约500纳米至900纳米；一第一半导体结构，置于该基板的该第一表面上；以及一第二半导体结构，置于该基板的该第二表面上。