[发明专利]基于自旋霍尔效应的磁性元件、微波振荡器及其制法在审

专利信息
申请号: 201410028015.9 申请日: 2014-01-22
公开(公告)号: CN103779495A 公开(公告)日: 2014-05-07
发明(设计)人: 方彬;曾中明;张宝顺 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于自旋霍尔效应的磁性元件、微波振荡器及其制法。该磁性元件包括能够诱导电子产生自旋流的非磁性金属膜层(ML)以及形成在所述非磁性金属膜层(ML)上的、具有平衡磁化的磁性膜层(FL)。该微波振荡器包括该磁性元件,该磁性元件形成在衬底层(SL)上,且该磁性元件上设有金属电极(EL)。该微波振荡器可利用薄膜沉积技术、光刻和/或刻蚀技术等加工形成。本发明的磁性元件结构有助于减少微波振荡器的噪音,器件微波频率在外加电流的作用下可调范围宽,输出微波信号性能优异;而本发明的自旋微波振荡器具有尺寸小、结构简单等特点,制备工艺简单,与传统微纳米加工工艺兼容,易于大批量制备,可作为微波源广泛应用于电子、通信等领域。
搜索关键词: 基于 自旋 霍尔 效应 磁性 元件 微波 振荡器 及其 制法
【主权项】:
一种基于自旋霍尔效应的磁性元件,其特征在于包括:能够诱导电子产生自旋流的非磁性金属膜层(ML),以及,形成在所述非磁性金属膜层(ML)上的、具有平衡磁化的磁性膜层 (FL)。
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