[发明专利]基于自旋霍尔效应的磁性元件、微波振荡器及其制法在审
申请号: | 201410028015.9 | 申请日: | 2014-01-22 |
公开(公告)号: | CN103779495A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 方彬;曾中明;张宝顺 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于自旋霍尔效应的磁性元件、微波振荡器及其制法。该磁性元件包括能够诱导电子产生自旋流的非磁性金属膜层(ML)以及形成在所述非磁性金属膜层(ML)上的、具有平衡磁化的磁性膜层(FL)。该微波振荡器包括该磁性元件,该磁性元件形成在衬底层(SL)上,且该磁性元件上设有金属电极(EL)。该微波振荡器可利用薄膜沉积技术、光刻和/或刻蚀技术等加工形成。本发明的磁性元件结构有助于减少微波振荡器的噪音,器件微波频率在外加电流的作用下可调范围宽,输出微波信号性能优异;而本发明的自旋微波振荡器具有尺寸小、结构简单等特点,制备工艺简单,与传统微纳米加工工艺兼容,易于大批量制备,可作为微波源广泛应用于电子、通信等领域。 | ||
搜索关键词: | 基于 自旋 霍尔 效应 磁性 元件 微波 振荡器 及其 制法 | ||
【主权项】:
一种基于自旋霍尔效应的磁性元件,其特征在于包括:能够诱导电子产生自旋流的非磁性金属膜层(ML),以及,形成在所述非磁性金属膜层(ML)上的、具有平衡磁化的磁性膜层 (FL)。
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