[发明专利]一种具有真空腔的微机电系统露点传感器及其制造方法

摘要

本发明公开一种具有真空腔的微机电系统露点传感器。该发明包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体。传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、温度传感器、加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器。第一基片的正面刻蚀形成膜片，第一绝缘层置于膜片的正面，温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，反射镜面形成于第二绝缘层的正面，第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，制冷器与第二基片的背面连接。本发明还公开一种用于制造该露点传感器的方法。本发明创造性增加了真空腔结构，避免反射镜面的不规则变形，提高露点仪的检测精度。

主权项

一种具有真空腔的微机电系统露点传感器，其特征在于：包括光源、光电探测器、测控电路和传感器主体；所述的传感器主体包括第一基片、膜片、第一绝缘层、至少一个温度传感器、至少一个加热电阻、第二绝缘层、反射镜面、第二基片和制冷器；所述的第一基片的正面刻蚀形成膜片，所述的第一绝缘层置于膜片的正面，所述的温度传感器和加热电阻分别置于第一绝缘层的正面，所述的第二绝缘层置于第一绝缘层的正面并能够掩埋温度传感器和加热电阻，所述的反射镜面形成于第二绝缘层的正面，所述的第二基片键合于第一基片的背面且两者之间形成真空腔，所述的制冷器与第二基片的背面连接；所述的光源和光电探测器分别置于反射镜面的上方，使光斑处于反射镜面中心,反射镜面将光源发出的入射光进行反射后由光电探测器接收；所述的测控电路分别与光源、光电传感器、温度传感器、加热电阻和制冷器连接。