[发明专利]一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜及其制备方法有效
申请号: | 201410013760.6 | 申请日: | 2014-01-13 |
公开(公告)号: | CN103833352A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 王晓飞;胡秋波;李新忠;张超;王赵武 | 申请(专利权)人: | 河南科技大学 |
主分类号: | C04B35/47 | 分类号: | C04B35/47;C04B35/622 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 罗民健 |
地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜及其制备方法,由分子式为SrTi1+xO3的材料组成,x的取值范围为0.015~0.02;膜制备方法:按1:(1.015~1.02):0.7的摩尔比称取乙酸锶、钛酸丁脂和乙酰丙酮,将乙酸锶全部溶解于乙酸中,然后加入乙二醇甲醚、钛酸丁酯和乙酰丙酮,再添加乙二醇甲醚将溶液稀释至乙酸锶的摩尔浓度为0.3mol/L,搅拌得溶液C;将溶液C滴在甩胶机中的衬底上,甩胶、烘干和热分解,直至SrTi1+xO3干膜厚度达到300nm,退火得SrTi1+xO3薄膜。本发明由Ti过量和缺氧气氛下退火诱导铁电性,在零度以上甚至室温测量到铁电回线;无需引入其它元素,方法简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 钛酸锶铁电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜,其特征在于:由分子式为SrTi1+xO3的材料组成,其中,x的取值范围为0.015~0.02,Sr和Ti的摩尔比为Sr:Ti=1:(1+x)。
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