[发明专利]检查装置及检查方法

摘要

本发明提供一种检查装置及检查方法。检查装置具备接触位置取得部和检查状态判定部。上述接触位置取得部使用保持对象的检查面上的粒子有无的检查结果和静电吸盘保持机构的凸部分的坐标信息，取得上述凸部分对上述检查面的接触位置。上述检查状态判定部针对在上述检查面的与上述凸部分的接触区域附着的粒子的尺寸，使用第1判断基准值来判定是否在容许范围内，针对在上述检查面的与上述凸部分的非接触区域附着的粒子的尺寸，使用比上述第1判断基准值大的第2判断基准值来判定是否在容许范围内。

主权项

1.一种检查装置，其特征在于，具备：接触位置取得部，其使用有无存在于保持对象的检查面的粒子的检查结果、和静电吸盘保持机构的凸部分的坐标信息，取得上述凸部分对上述检查面的接触位置；和检查状态判定部，其针对在上述检查面的与上述凸部分接触的接触区域附着的粒子的尺寸，使用第1判断基准值来判定是否在容许范围内，针对在上述检查面的与上述凸部分接触的区域以外的非接触区域附着的粒子的尺寸，使用比上述第1判断基准值大的第2判断基准值来判定是否在容许范围内，上述检查装置检查在由静电吸盘保持机构的上述凸部分保持的保持对象的与上述凸部分接触一侧的面有无附着粒子。