[发明专利]一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法有效
| 申请号： | 201410006213.5 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN103730548A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈明亿;王维纲;侯则良 | 申请（专利权）人： | 福建省诺希新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙) 35217 | 代理人： | 刘毅峰 |
| 地址： | 350300 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）将图案化蓝宝石衬底放置在反应容器内，向反应容器内通入含有氧气的高温氧化性气体，氧化性气体的压力为0.1~1个大气压、温度为900~1100℃，分解至外延层的厚度为0.5~1微米；（2）增大氧化性气体压力至1.1~5个大气压，温度降低至700~900℃继续进行氧化分解，直至将图案化蓝宝石衬底表面的外延层分解干净。本发明不仅可将蓝宝石衬底上的外延层去除，同时也避免了蓝宝石衬底的图案的变形。此外，外延层中的金属镓形成氧化镓而保留下来，避免金属镓的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 高温 氧化 性气 回收 图案 蓝宝石 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）将图案化蓝宝石衬底放置在反应容器内，向反应容器内通入高温氧化性气体，氧化性气体的压力为0.1~1个大气压、温度为900~1100℃，分解至外延层的厚度为0.5~1微米；（2）增大氧化性气体压力至1.1~5个大气压，温度降低至700~900℃继续进行氧化分解，直至将图案化蓝宝石衬底表面的外延层分解干净。
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