[发明专利]一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法

权利要求书

1.一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，包括以下步骤：（1）将图案化蓝宝石衬底放置在反应容器内，向反应容器内通入高温氧化性气体，氧化性气体的压力为0.1~1个大气压、温度为900~1100℃，分解至外延层的厚度为0.5~1微米；（2）增大氧化性气体压力至1.1~5个大气压，温度降低至700~900℃继续进行氧化分解，直至将图案化蓝宝石衬底表面的外延层分解干净。

2.根据权利要求1所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：步骤（1）中的氧化性气体为纯氧气或氧气与其他惰性气体或氧化性气体组成的混合气体。

3.根据权利要求1所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：步骤（1）中的氧化性气体中氧气的体积百分数为≥50%。

4.根据权利要求1所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：在步骤（2）后增加步骤（3），步骤（3）为：将外延层已分解干净的图案化蓝宝石衬底进行震荡清洗，清洗溶液采用酸液，将图案化蓝宝石衬底上的残留的脏污清除干净，其中，酸浓度为0.05~1M。

5.根据权利要求4所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：步骤（3）中的酸液采用硫酸和磷酸的混合液，其中，磷酸与硫酸的体积比为0.5～1.5：2.5～3.5，混合液的总酸浓度为0.05~1M。

6.根据权利要求4所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：步骤（3）中超声震荡清洗温度为20?240°C。

7.根据权利要求4所述的一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法，其特征在于：步骤（3）中超声震荡清洗过程中超声震荡频率为20～100 kHz。