[发明专利]具有印模结构的印模及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201380081300.0 申请日: 2013-11-29
公开(公告)号: CN105765457B 公开(公告)日: 2020-01-21
发明(设计)人: M.乔伊基 申请(专利权)人: EV集团E·索尔纳有限责任公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 72001 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张华;林森
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明涉及用于在基底或软模上施加微结构和/或纳米结构的具有印模结构的结构印模的制造方法,其中所述印模结构至少部分由具有低粘附性质的本发明的印模材料构成。
搜索关键词: 具有 印模 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
1.具有印模结构的压印印模,其中所述印模结构至少部分由作为印模材料的有机硅形成,其中所述压印印模可变形,其中该压印印模具有小于10000 MPa的E模量,其中所述压印印模的表面粗糙度小于1微米,其中压花材料和所述压印印模之间的粘附以能量面积密度描述小于2.5 J/m
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