[发明专利]微机械部件和用于微机械部件的制造方法有效
申请号: | 201380075931.1 | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN105143958B | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | J·穆霍;H·格鲁茨埃克;F·恩吉卡姆恩吉蒙齐;Z·莱什詹;S·赖斯 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;H01F7/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 曾立 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种微机械部件,其具有:保持装置(10);驱动体(12),所述驱动体具有至少一个设置在其上的线圈装置(16),所述线圈装置通过至少一个弹簧(20)如此与所述保持装置(10)连接,使得所述驱动体(12)由于引导通过所述至少一个线圈装置(16)的电流的和在所述至少一个线圈装置(16)上出现的磁场(24)的相互作用可以置于驱动运动;调节元件(14),所述调节元件如此与所述驱动体(12)连接,使得所述调节元件(14)可以借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动,其中所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28,30)如此彼此布置,使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸。此外,本发明还涉及一种用于微机械部件的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 微机 部件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种微机械部件,其具有:保持装置(10);驱动体(12),其具有至少一个布置在其上的线圈装置(16),所述线圈装置通过至少一个弹簧(20,36)如此与所述保持装置(10)连接,使得所述驱动体(12)由于通过所述至少一个线圈装置(16)引导的电流和位于所述至少一个线圈装置(16)上的磁场(24)的相互作用能够置于驱动运动,所述至少一个弹簧具有至少一个通过所述至少一个弹簧引导的线路组件(22),借助所述线路组件电流能够引导通过所述至少一个线圈装置(16);调节元件(14),所述调节元件通过至少一个连接元件(28,30)如此与所述驱动体(12)连接,使得所述调节元件(14)借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)能够置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动;其特征在于,所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28,30)如此彼此布置,使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸,其中,所述至少一个弹簧(20,36)是可S形弯曲的弯曲弹簧。
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