[发明专利]微机械部件和用于微机械部件的制造方法

权利要求书

1.一种微机械部件，其具有：

保持装置(10)；

驱动体(12)，其具有至少一个布置在其上的线圈装置(16)，所述线圈装置通过至少一个弹簧(20，36)如此与所述保持装置(10)连接，使得所述驱动体(12)由于通过所述至少一个线圈装置(16)引导的电流和位于所述至少一个线圈装置(16)上的磁场(24)的相互作用能够置于驱动运动，所述至少一个弹簧具有至少一个通过所述至少一个弹簧引导的线路组件(22)，借助所述线路组件电流能够引导通过所述至少一个线圈装置(16)；

调节元件(14)，所述调节元件通过至少一个连接元件(28，30)如此与所述驱动体(12)连接，使得所述调节元件(14)借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)能够置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动；

其特征在于，

所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸，其中，所述至少一个弹簧(20，36)是可S形弯曲的弯曲弹簧。

2.根据权利要求1所述的微机械部件，其中，所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述驱动体(12)相对于所述转动轴线(32)非对称地定向。

3.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中，所述调节元件(14)是镜和/或过滤器。

4.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中，所述转动轴线(32)在中间延伸通过所述调节元件(14)。

5.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中，所述至少一个弹簧(20，36)包括至少一个无线路的驱动弹簧(36)和至少一个带有输送线路的输送线路弹簧(20)。

6.根据权利要求5所述的微机械部件，其中，所述至少一个输送线路弹簧(20)具有输送线路弹簧常数，所述输送线路弹簧常数小于所述至少一个驱动弹簧(36)的驱动弹簧常数。

7.根据权利要求6所述的微机械部件，其中，所述输送线路弹簧常数小于所述驱动弹簧常数的三分之一。

8.根据权利要求5所述的微机械部件，其中，所述至少一个输送线路弹簧(20)由具有第一层厚的第一层结构化出，其中，所述至少一个驱动弹簧(36)由具有第二层厚的第二层结构化出，所述第二层厚大于所述第一层厚。

9.根据权利要求5所述的微机械部件，其中，所述至少一个输送线路弹簧(20)回曲形地和/或螺旋形地构造。

10.根据权利要求5所述的微机械部件，其中，所述至少一个输送线路弹簧(20)仅仅由至少一种能导电的材料构成，所述至少一种能导电的材料无承载地跨越至少一个位于所述驱动体(12)和所述保持装置(10)之间的缝隙。

11.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中，所述至少一个线路组件(22)由铜、铝、银和/或金构成。

12.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中，所述至少一个连接元件(28，30)包括接板元件(30)，所述接板元件垂直于所述驱动体(12)的线圈承载面(18)地定向。

13.根据上权利要求12所述的微机械部件，其中，所述驱动体(12)和所述调节元件(14)布置在封装内，其中，磁体(46)固定在所述封装之外在与所述驱动体(12)的线圈承载面(18)相邻的盖部(42)上。

14.一种用于微机械部件的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：

将具有至少一个布置在其上的线圈装置(16)的驱动体(12)通过至少一个弹簧(20，36)如此与保持装置连接，使得在所述微机械部件的运行时，一电流借助至少一个通过所述至少一个弹簧(20，36)引导的线路组件(22)引导通过所述至少一个线圈装置(16)，并且使所述驱动体(12)由于通过所述至少一个线圈装置(16)引导的电流和在所述至少一个线圈装置(16)上存在的磁场(24)的相互作用置于驱动运动；

将调节元件(14)通过至少一个连接元件(28，30)如此与所述驱动体(12)连接，使得所述调节元件(14)借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动；

其特征在于，

所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸，其中，所述至少一个弹簧(20，36)是可S形弯曲的弯曲弹簧。