[发明专利]微机械部件和用于微机械部件的制造方法

说明书

本发明涉及一种微机械部件，其具有：保持装置(10)；驱动体(12)，所述驱动体具有至少一个设置在其上的线圈装置(16)，所述线圈装置通过至少一个弹簧(20)如此与所述保持装置(10)连接，使得所述驱动体(12)由于引导通过所述至少一个线圈装置(16)的电流的和在所述至少一个线圈装置(16)上出现的磁场(24)的相互作用可以置于驱动运动；调节元件(14)，所述调节元件如此与所述驱动体(12)连接，使得所述调节元件(14)可以借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动，其中所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28，30)如此彼此布置，使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸。此外，本发明还涉及一种用于微机械部件的制造方法。

技术领域

本发明涉及一种微机械部件。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

背景技术

在文献DE 10 2008 001 896 A1中已知一种微机械部件和一种用于微机械部件的制造方法。所述微机械部件的一种实施方式包括中央框，在所述中央框上布置内部线圈系统。所述中央框框住弯曲板，所述弯曲板通过两个扭转弹簧与中央框连接。此外，中央框通过两个另外的扭转弹簧与框住所述中央框的内框连接。中央框应当可以借助通过内部线圈系统引导的电流的和磁场的相互作用如此激励，使得弯曲板可以置于围绕在中间与中央框相交的转动轴线的转动运动。

发明内容

本发明创造一种微机械部件，其具有：保持装置；驱动体，其具有至少一个布置在其上的线圈装置，所述线圈装置通过至少一个弹簧如此与所述保持装置连接，使得所述驱动体由于通过所述至少一个线圈装置引导的电流和位于所述至少一个线圈装置上的磁场的相互作用能够置于驱动运动，所述至少一个弹簧具有至少一个通过所述至少一个弹簧引导的线路组件，借助所述线路组件电流能够引导通过所述至少一个线圈装置；调节元件，所述调节元件通过至少一个连接元件如此与所述驱动体连接，使得所述调节元件借助已置于所述驱动运动的驱动体能够置于具有至少一个围绕转动轴线定向的运动分量的偏移运动；其中，所述驱动体和所述调节元件通过所述至少一个连接元件如此彼此布置，使得所述转动轴线与所述驱动体的重心间隔开地延伸，其中，所述至少一个弹簧是可S形弯曲的弯曲弹簧。

本发明还创造一种用于微机械部件的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：将具有至少一个布置在其上的线圈装置的驱动体通过至少一个弹簧如此与保持装置连接，使得在所述微机械部件的运行时，一电流借助至少一个通过所述至少一个弹簧引导的线路组件引导通过所述至少一个线圈装置，并且使所述驱动体由于通过所述至少一个线圈装置引导的电流和在所述至少一个线圈装置上存在的磁场的相互作用置于驱动运动；将调节元件通过至少一个连接元件如此与所述驱动体连接，使得所述调节元件借助已置于所述驱动运动的驱动体置于具有至少一个围绕转动轴线定向的运动分量的偏移运动；其中，所述驱动体和所述调节元件通过所述至少一个连接元件如此彼此布置，使得所述转动轴线与所述驱动体的重心间隔开地延伸，其中，所述至少一个弹簧是可S形弯曲的弯曲弹簧。

本发明能够实现一种摆动系统，其中驱动体和调节元件构成两个质量块，它们可以借助外部磁场中的至少一个线圈装置的通电置于不同的运动。这提供以下优点：调节元件摆动系统和驱动体摆动系统可以分开地进行优化。特别地，调节元件摆动系统的惯性小于由驱动体和不可调节地与驱动体连接的调节元件组成的总摆动系统的常规惯性。如以下详细描述的那样，调节元件摆动系统的所述有利的更小的惯性可以用于优化其固有频率。这可以引起更小的机械压力，由此在调节元件的偏移运动期间不能禁止调节元件和/或驱动体的不期望的变形。

特别地，本发明保证驱动体相对于调节元件的有利的布置/定向。因为驱动体的重心位于转动轴线之外，可以使调节元件围绕所述转动轴线置于转动运动，所以可以通过至少一个线圈装置的通电所触发的洛伦兹力以与转动轴线更大的间距施加，并且因此引起更大的转动力矩。因此，可以有利地增强所产生的洛伦兹力的作用。