[发明专利]利用ALD覆层保护目标泵内部

摘要

用于保护目标泵内部的装置和方法，其中为目标泵(10)入口设置有入口歧管(20)，为目标泵出口设置排出歧管(30)。在目标泵保持运行或不运行的情况下，通过经由入口歧管使根据ALD方法的反应气体顺次进入目标泵内部以及经由排出歧管使反应残余排出，而将目标泵内部暴露至顺次的自饱和表面反应。本发明的技术效果在于通过一致的保护覆层保护泵内部，所述泵内部也可以是组装的泵内部。

主权项

一种用于保护目标泵内部的方法，所述方法包括：通过将入口歧管安装到目标泵入口以及将排出歧管安装到目标泵出口，而为所述目标泵入口提供所述入口歧管和为所述目标泵出口提供所述排出歧管；在所述目标泵保持运行的情况下，通过经由所述入口歧管使反应气体顺次进入所述目标泵内部以及经由所述排出歧管使反应残余排出，将所述目标泵内部暴露至顺次的自饱和表面反应；以及将所述入口歧管从所述目标泵入口拆卸并且将所述排出歧管从所述目标泵出口拆卸。