[发明专利]石墨烯和金属互连

摘要

石墨烯和金属互连结构及其制造方法。使用石墨烯催化剂来生长多层石墨烯结构。所述石墨烯形成两个或多个通孔(16、36)或元件20或通孔和元件的组合之间的电连接30。通孔包括填充金属，其中填充金属36的至少一部分被势垒金属38包裹。所述元件可以是绕线轨迹、时钟信号源、电源、电磁信号源、接地端子、晶体管、微单元及其组合。使用石墨烯催化剂来从液体和固体碳源，通过在300℃到400℃之间的化学气相淀来生长石墨烯。所述石墨烯催化剂可以是包括镍、钯、钌、铱或铜的元素形式或合金。

主权项

1.一种互连结构，包括：石墨烯(30)连接器；衬垫层(28)，其衬在包括所述石墨烯(30)连接器的沟槽(26)内；上通孔(36)，所述上通孔的下端与石墨烯(30)连接器的第一端相连，其中所述上通孔(36)穿透所述石墨烯(30)连接器；以及下通孔(16)，所述下通孔的顶端与石墨烯(30)连接器的第二端相连，其中所述衬垫层(28)和所述石墨烯(30)连接器的所述第二端二者的一部分水平地穿过所述下通孔(16)。