[发明专利]MEMS压力传感器组件在审
申请号: | 201380060838.3 | 申请日: | 2013-10-01 |
公开(公告)号: | CN105102952A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | A·L·费伊;G·奥布赖恩 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司;A·L·费伊;G·奥布赖恩 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/00;G01L19/14;H01L23/52 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 压力传感器组件(100)包括第一管芯组件(108)、第二管芯组件(124)和导电构件。第一管芯组件包括MEMS压力传感器。第二管芯组件包括ASIC,所述ASIC构造用于产生对应于由所述MEMS压力传感器感测的压力的电输出。所述导电构件定位在所述第一管芯组件与所述第二管芯组件之间并且构造用于将所述MEMS压力传感器电连接到所述ASIC。 | ||
搜索关键词: | mems 压力传感器 组件 | ||
【主权项】:
一种压力传感器组件,其包括:第一管芯组件,所述第一管芯组件包括MEMS压力传感器;第二管芯组件,所述第二管芯组件包括ASIC,所述ASIC构造用于产生对应于由所述MEMS压力传感器感测的压力的电输出;和导电构件,所述导电构件定位在所述第一管芯组件与所述第二管芯组件之间并且构造用于将所述MEMS压力传感器电连接到所述ASIC。
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