[发明专利]防止MEMS组件过度移动的装置在审
| 申请号： | 201380059431.9 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN104871561A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 桑·博克·李 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚;刘久亮 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种声学设备包括基板、微机电系统MEMS装置、盖体、端口以及止动件。MEMS装置包括振动膜和背板。盖体接合到基板并封闭MEMS装置。端口穿过基板设置，并且MEMS装置设置在端口上方。止动件设置在MEMS装置上方并被配置为防止MEMS装置的多个部分的将损坏MEMS装置的这些部分的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 mems 组件 过度 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种声学设备，所述声学设备包括：基板；微机电系统MEMS装置，该MEMS装置包括振动膜和背板；盖体，该盖体接合到所述基板并封闭所述MEMS装置；端口，该端口穿过所述基板设置，所述MEMS装置设置在所述端口上方；止动件，该止动件设置在所述MEMS装置上方并配置为防止所述MEMS装置的多个部分的将损坏所述MEMS装置的这些部分的移动。
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