[发明专利]化学机械抛光刷子包装有效
| 申请号： | 201380059323.1 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104853999B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 帕特里克·多林;大卫·特里奥;齐坦·帕特尔;切斯特·L·贝基特里奇;克里斯托弗·威罗曼;布拉德利·H·伍德;马修·B·尼古拉斯 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B65D85/00 | 分类号： | B65D85/00;B65B5/04;B65D77/04 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种包装化学机械抛光刷子的方法，所述化学机械抛光刷子具有圆柱形刷子部和一对端连接部。所述方法包括使用液体使刷子变潮湿；使用围绕圆柱形刷子部的表面延伸并接合圆柱形刷子部的表面的柔性薄层覆盖圆柱形刷子部；使每一个端连接部与各自的端支撑部相接合；将潮湿的刷子插入到刚性聚合物管状运输容器中并将端连接部支撑在聚合物管中；和提供附加的外部自支撑包装。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 刷子 包装 | ||
【主权项】：
1.一种包装化学机械抛光(CMP)刷子的方法，该化学机械抛光刷子具有圆柱形刷子部和一对端连接部，所述方法包括：/n至少使用液体使所述CMP刷子潮湿；/n使用围绕圆柱形刷子部的表面延伸并与圆柱形刷子部的表面相接合的柔性薄层覆盖圆柱形刷子部，其中所述柔性薄层适用于将潮湿的CMP刷子安装在CMP工具上，且适用于无需切割地从安装在所述CMP工具上的潮湿的CMP刷子上去除；/n使每一个端连接部与相应的端支撑部接合，所述端支撑部具有法兰部，所述法兰部的直径大于所述圆柱形刷子部的最大直径；/n将潮湿的CMP刷子插入到刚性聚合物管状运输容器中，所述刚性聚合物管状运输容器具有包含内表面的管状壁，藉此，所述端支撑部保持所述圆柱形刷子部不与管状壁接触并防止圆柱形刷子部的由于管状壁引起的变形；和/n提供围绕所述刚性聚合物管状运输容器的附加的外部自支撑包装。/n
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