[发明专利]化学机械抛光刷子包装

权利要求书

1.一种包装化学机械抛光(CMP)刷子的方法，该化学机械抛光刷子具有圆柱形刷子部和一对端连接部，所述方法包括：

至少使用液体使所述CMP刷子潮湿；

使用围绕圆柱形刷子部的表面延伸并与圆柱形刷子部的表面相接合的柔性薄层覆盖圆柱形刷子部，其中所述柔性薄层适用于将潮湿的CMP刷子安装在CMP工具上，且适用于无需切割地从安装在所述CMP工具上的潮湿的CMP刷子上去除；

使每一个端连接部与相应的端支撑部接合，所述端支撑部具有法兰部，所述法兰部的直径大于所述圆柱形刷子部的最大直径；

将潮湿的CMP刷子插入到刚性聚合物管状运输容器中，所述刚性聚合物管状运输容器具有包含内表面的管状壁，藉此，所述端支撑部保持所述圆柱形刷子部不与管状壁接触并防止圆柱形刷子部的由于管状壁引起的变形；和

提供围绕所述刚性聚合物管状运输容器的附加的外部自支撑包装。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括将附加的聚合物薄层材料应用到所述刚性聚合物管状运输容器的外部，所述端连接部被支撑在所述刚性聚合物管中。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：选择附加的聚合物薄层材料以具有收缩包裹性能，并且加热所述附加的聚合物薄层材料以使其收缩，由此将所述刷子气密密封在其中。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：

选择衬套作为柔性薄层以围绕圆柱形刷子部延伸，并且其中覆盖圆柱形刷子部包括将刷子插入衬套中。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括选择衬套以具有一个易于撕开区域或狭缝。

6.根据上述权利要求中任一项所述的方法，还包括选择纸板盒作为附加的外部自支撑包装，所述纸板盒在端部视图上具有正方形形状。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，还包括选择端支撑部，所述端支撑部具有圆盘形的法兰部并具有用于与刷子的轴中心相接合的中心接合结构。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，还包括将所述端支撑部插入所述刚性聚合物管状运输容器内部，和将刚性盖安装在所述刚性聚合物管状运输容器的每个开口端上。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括气密密封所述刚性盖。

10.一种被包装的化学机械抛光(CMP)刷子，所述CMP刷子包括：

包装的潮湿的CMP刷子，所述包装的潮湿的CMP刷子包括：

具有圆柱形表面的圆柱形刷子部和一对端连接部；

柔性聚合物薄层材料，所述柔性聚合物薄层材料围绕圆柱形刷子部延伸并沿圆周方向接合且覆盖圆柱形刷子部，所述柔性聚合物薄层材料适用于将所述包装的潮湿的CMP刷子安装在CMP工具上，且适用于无需切割地从安装在所述CMP工具上的包装的潮湿的CMP刷子上去除；

一对端支撑部，所述一对端支撑部支撑地接合每一个端连接部，每个端支撑部都具有与所述端连接部接合的中心接合结构和径向延伸超过圆柱形表面的径向长度的法兰部；

外包装，其装入所述端支撑部并将所述包装的潮湿的CMP刷子气密密封，所述外包装经配置用以插入刚性聚合物运输容器，端支撑部接合刚性聚合物运输容器的端部，藉此，刷子被悬挂在刚性聚合物运输容器中，圆柱形表面与刚性聚合物运输容器间隔分开；和

一或多个端盖，所述一或多个端盖连接到所述刚性聚合物运输容器。

11.根据权利要求10所述的被包装的化学机械抛光刷子，其中所述柔性聚合物薄层材料经配置以螺旋地围绕包装所述圆柱形刷子部。

12.根据权利要求10所述的被包装的化学机械抛光刷子，其中所述柔性聚合物薄层材料经配置以松散地围绕包装所述圆柱形刷子部，且所述柔性聚合物薄层材料包括连续的狭缝。