[发明专利]角加速度传感器及加速度传感器在审
申请号: | 201380058809.3 | 申请日: | 2013-11-08 |
公开(公告)号: | CN104797942A | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 小西隆宽 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01P15/12 | 分类号: | G01P15/12;H01L29/84 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的角加速度传感器包括固定部(12)、锤部(13)、梁(14)、以及对梁(14)的应力进行检测的检测元件,该梁(14)包括:呈平板状、且延伸方向上的一个端部与固定部(12)相连、另一个端部与锤部(13)相连的平板部(21);以向平板部(21)的厚度方向突出的方式设置在平板部(21)的宽度方向中央的中央侧凸部(22);以及以向平板部(21)的厚度方向突出的方式分别设置在平板部(21)的宽度方向两端的端侧凸部(23A、23B、23C、23D),该检测元件设置在平板部(21)上与平板部(21)的延伸方向的中央不同的位置。 | ||
搜索关键词: | 角加速度 传感器 加速度 | ||
【主权项】:
一种角加速度传感器,其特征在于,包括:固定部;以可移动的方式被支承的锤部;梁,该梁包括:呈平板状、且延伸方向上的一个端部与所述固定部相连、另一个端部与所述锤部相连的平板部;以向与所述平板部的延伸方向正交的厚度方向突出的方式设置在与所述平板部的延伸方向以及厚度方向正交的宽度方向中央的中央侧凸部;以及以向所述平板部的厚度方向突出的方式分别设置在所述平板部的宽度方向两端的多个端侧凸部;以及多个检测元件,该多个检测元件设置在所述平板部上与所述平板部的延伸方向中央不同的位置上,并对所述梁的应力进行检测。
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