[发明专利]角加速度传感器及加速度传感器

权利要求书

1.一种角加速度传感器，其特征在于，包括：

固定部；

以可移动的方式被支承的锤部；

梁，该梁包括：呈平板状、且延伸方向上的一个端部与所述固定部相连、另一个端部与所述锤部相连的平板部；以向与所述平板部的延伸方向正交的厚度方向突出的方式设置在与所述平板部的延伸方向以及厚度方向正交的宽度方向中央的中央侧凸部；以及以向所述平板部的厚度方向突出的方式分别设置在所述平板部的宽度方向两端的多个端侧凸部；以及

多个检测元件，该多个检测元件设置在所述平板部上与所述平板部的延伸方向中央不同的位置上，并对所述梁的应力进行检测。

2.如权利要求1所述的角加速度传感器，其特征在于，

在观察由所述平板部的延伸方向和宽度方向构成的平面时，所述中央侧凸部通过所述支承梁的中央。

3.如权利要求1或2所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述中央侧凸部的所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述固定部相连，另一个端部与所述锤部相连。

4.如权利要求1至3的任一项所述的角加速度传感器，其特征在于，所述多个端侧凸部包括：

第一端侧凸部，该第一端侧凸部设置在所述平板部的宽度方向的一个端部，所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述固定部相连，另一个端部位于较所述平板部的延伸方向中央更靠所述固定部侧的位置；

第二端侧凸部，该第二端侧凸部设置在所述平板部的宽度方向的一个端部，所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述锤部相连，另一个端部位于较所述平板部的延伸方向中央更靠所述锤部侧的位置；

第三端侧凸部，该第三端侧凸部设置在所述平板部的宽度方向的另一个端部，所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述固定部相连，另一个端部位于较所述平板部的延伸方向中央更靠所述固定部侧的位置；以及

第四端侧凸部，该第四端侧凸部设置在所述平板部的宽度方向的另一个端部，所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述锤部相连，另一个端部位于较所述平板部的延伸方向中央更靠所述锤部侧的位置。

5.如权利要求4所述的角加速度传感器，其特征在于，所述多个检测元件包括：

在所述平板部的厚度方向上与所述第一端侧凸部相对的检测元件；

在所述平板部的厚度方向上与所述第二端侧凸部相对的检测元件；

在所述平板部的厚度方向上与所述第三端侧凸部相对的检测元件；以及

在所述平板部的厚度方向上与所述第四端侧凸部相对的检测元件。

6.如权利要求5所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述多个检测元件构成桥式电路。

7.一种加速度传感器，其特征在于，包括：

固定部；

以可移动的方式被支承的锤部；

梁，该梁包括：呈平板状、且延伸方向上的一个端部与所述固定部相连、另一个端部与所述锤部相连的平板部；以向与所述平板部的延伸方向正交的厚度方向突出的方式设置在与所述平板部的延伸方向以及厚度方向正交的宽度方向中央的中央侧凸部；以及以向所述平板部的厚度方向突出的方式分别设置在所述平板部的宽度方向两端的多个端侧凸部；以及

多个检测元件，该多个检测元件设置在所述平板部上与所述平板部的延伸方向中央不同的位置上，并对所述梁的应力进行检测。

8.如权利要求7所述的加速度传感器，其特征在于，

在观察由所述平板部的延伸方向和宽度方向构成的平面时，所述中央侧凸部设置成通过所述支承梁的中央。

9.如权利要求7或8所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述中央侧凸部的所述平板部的延伸方向上的一个端部与所述固定部相连，另一个端部与所述锤部相连。