[发明专利]用于使有源层的初始应变状态改变为最终应变状态的方法有效

专利信息
申请号: 201380057203.8 申请日: 2013-10-11
公开(公告)号: CN104781911A 公开(公告)日: 2015-07-15
发明(设计)人: Y-M·勒瓦扬;E·纳瓦罗 申请(专利权)人: SOITEC公司
主分类号: H01L21/20 分类号: H01L21/20
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 该方法包括如下步骤:a)提供第一衬底(1),第一衬底(1)包括有源层(10),有源层(10)由具有杨氏模量E1和厚度h1的第一材料制成;b)提供第二衬底(2),第二衬底(2)由具有杨氏模量E2和厚度h2的第二材料制成;c)弯曲第一衬底(1)和第二衬底(2),以使第一衬底(1)和第二衬底(2)的每个具有曲率半径为R的弓形形状;d)将第二衬底(2)接合到有源层(10)上,以使第二衬底(2)符合第一衬底(1)的形状;e)重建第二衬底(2)的静态初始形状,所述方法值得注意之处在于,第二衬底(2)的第二材料为满足关系E2/E1<10-2的柔性材料,所述方法值得注意之处在于第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥104,并且所述方法值得注意之处在于所述曲率半径满足关系
搜索关键词: 用于 有源 初始 应变 状态 变为 最终 方法
【主权项】:
用于将被称为有源层(10)的层的初始应变状态改变成表示为ε的最终应变状态的方法,所述方法包括如下步骤:a)提供第一衬底(1),所述第一衬底(1)包括在所述初始应变状态中的所述有源层(10),所述有源层(10)由具有表示为E1的杨氏模量的第一材料制成,所述有源层(10)具有表示为h1的厚度;b)提供第二衬底(2),所述第二衬底(2)由具有表示为E2的杨氏模量的第二材料制成,所述第二衬底(2)具有表示为h2的厚度,所述第二衬底(2)具有静态的初始形状;c)弯曲所述第一衬底(1)和所述第二衬底(2),以使所述第一衬底(1)和所述第二衬底(2)的每个具有基本上相同的表示为R的曲率半径的弯曲形状;d)将所述第二衬底(2)接合到所述有源层(10)上,以使所述第二衬底(2)紧随所述第一衬底(1)的形状;以及e)重建所述第二衬底(2)的初始静态形状,以使所述有源层(10)具有最终应变状态,所述方法的特征在于所述第二衬底(2)的第二材料为满足关系E2/E1<10‑2的柔性材料,所述方法的特征在于所述第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥104,并且所述方法的特征在于所述曲率半径满足关系
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