[发明专利]用于使有源层的初始应变状态改变为最终应变状态的方法有效

专利信息
申请号: 201380057203.8 申请日: 2013-10-11
公开(公告)号: CN104781911A 公开(公告)日: 2015-07-15
发明(设计)人: Y-M·勒瓦扬;E·纳瓦罗 申请(专利权)人: SOITEC公司
主分类号: H01L21/20 分类号: H01L21/20
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 用于 有源 初始 应变 状态 变为 最终 方法
【权利要求书】:

1.用于将被称为有源层(10)的层的初始应变状态改变成表示为ε的最终应变状态的方法,所述方法包括如下步骤:a)提供第一衬底(1),所述第一衬底(1)包括在所述初始应变状态中的所述有源层(10),所述有源层(10)由具有表示为E1的杨氏模量的第一材料制成,所述有源层(10)具有表示为h1的厚度;b)提供第二衬底(2),所述第二衬底(2)由具有表示为E2的杨氏模量的第二材料制成,所述第二衬底(2)具有表示为h2的厚度,所述第二衬底(2)具有静态的初始形状;c)弯曲所述第一衬底(1)和所述第二衬底(2),以使所述第一衬底(1)和所述第二衬底(2)的每个具有基本上相同的表示为R的曲率半径的弯曲形状;d)将所述第二衬底(2)接合到所述有源层(10)上,以使所述第二衬底(2)紧随所述第一衬底(1)的形状;以及e)重建所述第二衬底(2)的初始静态形状,以使所述有源层(10)具有最终应变状态,所述方法的特征在于所述第二衬底(2)的第二材料为满足关系E2/E1<10-2的柔性材料,所述方法的特征在于所述第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥104,并且所述方法的特征在于所述曲率半径满足关系

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一衬底(1)包括形成有源层(10)的第一部分和第二部分(11),并且其特征在于,所述方法包括步骤d1),步骤d1)包括减少所述第一衬底(1)的第二部分(11)的厚度。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,执行步骤d1)以使所述第一衬底(1)保持自支撑,步骤d1)在步骤c)之前执行。

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,执行步骤d1)以基本上移除所述第一衬底(1)的第二部分(11)的全部,步骤d1)在步骤d)之后且在步骤e)之前执行。

5.根据权利要求1至4的一项所述的方法,其特征在于,所述第二衬底(2)包括两个侧端部分(20),并且其特征在于,所述方法包括步骤c1),步骤c1)包括在每个侧端部分(20)中布置至少一个加强构件(5),每个加强构件(5)优选地为针状。

6.根据权利要求1至5的一项所述的方法,其特征在于,所述方法包括步骤c2),步骤c2)包括将形成增强件(4)的层接合到所述第二衬底(2),步骤c2)在步骤c)之前执行。

7.根据与权利要求5结合的权利要求6所述的方法,其特征在于,每个加强构件(5)从形成增强件(4)的层延伸。

8.根据权利要求1至7的一项所述的方法,其特征在于,所述第二衬底(2)的第二材料满足关系E2/E1≤10-3,并且所述方法的特征在于,所述第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥105

9.根据权利要求1至8的一项所述的方法,其特征在于,所述第二衬底(2)的第二材料满足关系E2/E1≤10-4,并且所述方法的特征在于,所述第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥106

10.根据权利要求1至9的一项所述的方法,其特征在于,所述有源层(10)的厚度包括在5nm与50nm之间,且优选地在5nm与35nm之间,并且所述方法的特征在于,所述第二衬底(2)的厚度包括在1cm与10cm之间。

11.根据权利要求1至10的一项所述的方法,其特征在于,所述曲率半径的绝对值包括在0.5m与2m之间。

12.根据权利要求1至11的一项所述的方法,其特征在于,所述第二衬底(2)的第二材料是弹性体,优选地从包括聚二甲硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰胺比如PA6-3-T以及聚四氟乙烯的组中选择。

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