[发明专利]在用于半导体测试的本地每引脚测试仪的自动测试设备上伪每站测试仪功能有效
申请号: | 201380054441.3 | 申请日: | 2013-10-16 |
公开(公告)号: | CN104781682B | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 杰拉尔德·穆恩;伊拉·哈里斯·莱文塔尔;罗恩·拉森;萨吉特·卡拉姆常丹尼 | 申请(专利权)人: | 爱德万测试公司 |
主分类号: | G01R31/319 | 分类号: | G01R31/319 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 李晓冬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 这里给出了用于测试器件的系统和方法。本发明的实施例使用中央控制器来协调多个被测器件的测试,以及多个信道电路,每个信道电路可操作为被耦合到上述多个被测器件中的被测器件的至少一个I/O引脚。此外,本发明的实施例包括多个中间处理器,每个中间处理器被耦合到中央控制器,并且可操作为接收和发送控制信号。这些中间处理器的每一个被耦合到多个信道电路中的不同组信道电路,并且可操作为独立于多个中间处理器中的任意其他中间处理器来针对与其相关联的被测器件的测试执行它们自己的测试程序实例化。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 测试 本地 引脚 测试仪 自动 设备 功能 | ||
【主权项】:
1.一种测试仪系统,包括:中央控制器,用于协调多个被测器件的测试;多个信道电路,每个信道电路可操作为被耦合到所述多个被测器件中的被测器件的至少一个I/O引脚;以及多个中间处理器,每个中间处理器被耦合到所述中央控制器,并且每个中间处理器可操作为从所述中央控制器接收控制信号,并且可操作为向所述中央控制器发送控制信号,其中,每个中间处理器还被耦合到所述多个信道电路中的不同组信道电路,并且其中每个中间处理器可操作为独立于所述多个中间处理器中的任意其他中间处理器来针对与其相关联的被测器件的测试执行各自的测试程序。
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