[发明专利]具有覆盖层的压力传感器

摘要

本发明涉及一种压力传感器(1)，包括基板(2)，具有形成的测量膜片(3)，以及导电的覆盖层(4)，其包含电接触元件(5，6，7，8)，且利用绝缘层(9)与基板(2)电绝缘。该覆盖层(4)构造为使得在彼此电绝缘的两个区域(10，11)中可以进行两个接触元件(5，6，7，8)之间相应电阻的两个独立测量。覆盖层(4)的区域(10，11)用于屏蔽测量膜片(3)的传感器元件(12，13)以免受来自外部的电磁影响，还用于检测测量膜片(3)的损坏以及用于精确的温度确定。

主权项

压力传感器(1)，包括：基板(2)，具有形成于其中的测量膜片(3)，且配备有传感器元件(12，13)；覆盖层(4)，所述覆盖层(4)是导电的，其中所述覆盖层(4)具有电接触元件(5，6，7，8)且通过绝缘层(9)与所述基板(2)电隔离开，其特征在于所述覆盖层(4)被分割成彼此电隔离的第一电阻区域(10)和第二电阻区域(11)以使得各自电阻可测量，其中，所述覆盖层(4)的第一电阻区域(10)和第二电阻区域(11)分别设有至少两个电接触元件(5，6，7，8)以用于电接触，其中，所述覆盖层(4)至少部分地或全部地由多晶硅组成，其中，所述覆盖层(4)的第一电阻区域(10)完全地或者部分地覆盖所述测量膜片(3)，并且所述覆盖层(4)的第一电阻区域(10)相对于外部电场屏蔽所述测量膜片(3)的传感器元件(12，13)，并且其中，所述覆盖层(4)的第二电阻区域(11)布置成使得在其上的所述测量膜片(3)的机械反应小到可忽略不计。