[发明专利]微型器件稳定柱有效

专利信息
申请号: 201380049330.3 申请日: 2013-09-13
公开(公告)号: CN104661953A 公开(公告)日: 2015-05-27
发明(设计)人: 胡馨华;A·比布尔;J·A·希金森 申请(专利权)人: 勒克斯维科技公司
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81B7/04;B81C1/00;H01L21/67
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;张宁
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明公开了用于稳定微型器件阵列的方法和结构。该微型器件阵列形成于由热固性材料形成的稳定柱阵列上。每个微型器件包括底表面,该底表面比该底表面正下方的对应稳定柱宽。
搜索关键词: 微型 器件 稳定
【主权项】:
一种结构,包括:包括稳定柱阵列的稳定层,其中所述稳定层由热固性材料形成;所述稳定柱阵列上的微型器件阵列;其中每个微型器件包括底表面,所述底表面比所述底表面正下方的对应稳定柱宽。
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